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1、適用晶圓尺寸：8吋及以下；

2、轉(zhuǎn)速分辨率：±1RPM；

3、旋轉(zhuǎn)速度：20 rpm ~ 2000rpm(空載) ；

4、旋轉(zhuǎn)加速度：20 rpm ~ 8000rpm(空載) ；

5、顯影時(shí)間設(shè)定：0 ~ 300s；

6、時(shí)間設(shè)置精度：0.1s；

7、3路管路：1路顯影液，1路純水，1路氮?dú)猓?/span>

8、工藝選擇：單步工藝/多步工藝可選，內(nèi)置50組可編輯程序；

9、電源：220VAC /50Hz，200W；

10、機(jī)器外形尺寸：W523mm× L450mm×H320mm。